《广场协议》和《美日半导体协议》的生效，日元在三年内升值百分之百，而芯片被强征100%的惩罚性关税，除此以外，老美还扶持台岛地区和南韩的公司和日本芯片厂商互相‘内卷’。”

“在大家的围攻下，日系企业在内存以及先进数字芯片制造方面节节败退，三星和台积电等趁机发展壮大，而我们华能和四叶草，也在关键时刻分到了一杯羹，拿下了数字芯片里需求量最大的存储类芯片的生产能力，为后续发展打下了坚实的基础。”

“但是光刻机毕竟需要的技术积累，尤其是光学器件、光刻显影技术、精密机械等方面的短板，无论是我们还是南韩，在八十年代到现在，还没有能够形成发展光刻机的能力。”

“但是欧洲却看到了契机。”

“脱胎于飞利浦的ASML抓住了关键需求，即电路从大规模集成电路（LSI）发展到超大规模集成电路（VLSI），晶体管尺寸将缩短到1微米以内，光刻机不再处理4英寸晶圆，而是转向6英寸。”

“而当时不管是美方还是日方的步进式光刻机，都达不到生产VLSI的标准。因为它们都是用导程螺丝杆来移动晶圆台，那么这意味着他们的图象细节，根本达不到1微米的定位精度。”

“光刻机的主要部件都有数千个， ASML先是引入当时最先进的物料管理系统，即施乐的XBMS系统。”

“这个系统与我们现在的工业流程管理系统类似，第一步解决了物料管理的问题，虽然花了数百万美元，但解决了供应效率，管理效率，打通整个产业链，用更高效率共同进步，确保新技术能快速有效地转化为可靠的产品。”

“解决供应商物料问题，第二步是建立无尘车间，确保机器组装过程中不受到外界因素的干扰。同时邀请各大Foundry客户参与合作，包括英特尔、台积电，三星等制造大厂和AMAT，LAM，TEL等设备大厂，最后只用了两年的时间，推出了第一款光刻机PAS 2500。可以将0.7微米的细节成像到晶圆上，并实现更紧密的微电子集成。”

“这个项目被欧洲人纳入了‘尤里卡计划’，这个计划是为了不被强劲发展的美日甩开距离，由欧洲共同体在高科技领域推出的政府资助并主导的计划。在这个计划框架内有个关于集成电路的子计划，叫做JESSI，JESSI里面最重要的一个项目，叫做MEGA，MEGA的目的，就是能够设计并制造1Mb的内存。”

“MEGA项目的核

本章未完，请点击"下一页"继续阅读！ 第2页 / 共3页