够满足等效七纳米乃至等效五纳米工艺的量产，并且每小时的产能能够达到一百八十片，其生产效率大幅度优于上一代的HEUV-300B型光刻机。

目前这款光刻机是属于目前人类最顶级的量产型光刻机之一……之所以说是之一，那是因为荷兰ASML也拥有同级别的光刻机。

但是这两款光刻机镜片技术上有巨大的差异，海湾科技在EUV光刻机上采用的是双面反射透镜，其特征就是大幅度减少极紫外光的吸收，大幅度增加了极紫外光能量利用率，进而大幅度减少功耗，而且也降低了对光源的功率技术要求。

因为物理极限以及目前的材料学水平，极紫外光每次被镜片反射的时候，都会被吸收大约百分之三十左右的能量，因此反射镜用的越少，极紫外光的能量利用率就越高。

海湾科技用的双面反射镜系统，对比荷兰ASML的六面反射镜系统，物镜系统工程难度更低，光源系统技术难度更低，制造成本也低一些，维护也更容易，然后还有个最明显的特征，那就是耗电量更低，大概只有百分之十左右。

当然，对于对于先进工艺的芯片生产成本而言，电费成本占比不高。

先进工艺芯片的成本，其大头是半导体工厂的巨大投资成本的折旧成本，一座五纳米半导体工厂动不动上百亿美元的投资，而这些成本都需要在短短几年里进行折旧的，平摊到每一年的折旧成本就非常夸张了。

然后是大量的半导体耗材成本，如硅晶圆，光刻胶，特殊气体等原料也不便宜。

再过来则是电费成本，半导体工厂的耗电量很大的，各种设备都是电老虎，因此电费成本也不算低，智云微电子集团光是每年交电费都是个非常庞大的数字。

最后才是人工成本，这个比例很低……半导体的先进工艺里谈论人力成本其实没有什么实际意义的，因为占比太低了。

因为半导体工厂耗电量比较高，而耗电大头就是EUV光刻机，因此能够降低EUV的耗电量也是比较重要的……这一点上海湾科技的EUV光刻机拥有比较大的能耗优势。

只是这点优势放在整个先进工艺的生产成本里，其实也不算什么太大的优势就是了……因为电费成本并不是先进工艺的主要成本，占比也很低的。

海湾科技的EUV光刻机和ASML的EUV光刻机，看似性能差不多，原理也一样，但是具体技术路线其实有着比较大的差异。

而且荷兰ASML的同级别光刻机是属于

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