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第一卷 第283章 首块晶圆的诞生(第3节)

第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。

每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。

程美丽站起身,走到无尘操作台前。

她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。

薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。

她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。

右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。

显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。

程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。

她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。

啪!

“废品。”

两个字,轻飘飘地砸在操作台上。

周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。

李副部长急忙凑上来,声音发紧。

“程工,哪里不对?”

“平整度。”

程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。

“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”

她竖起一根手指。

“0.1微米的平整度误差。”

“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”

“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”

几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。

0.1微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。

“这……”

一名老工程师咽了一口唾沫。

“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这0.1微米啊。”

“甩不平就换配方。”

程美丽没理会他们的难处,双手揣进白大褂的口袋里,闭上了眼睛。

意识深处,系统面板瞬间亮起。

她点开跨时代物资商城的检索栏。

【搜索指令:极紫外光刻胶配方图谱。】

金色的商品图标在面板中央缓缓浮现,带着一股不可侵犯的科技威压。

【叮!兑换确认。】

【该图谱为跨时代机密技术,将扣除宿主五万点作精值。】

程美丽的指尖在虚空中毫不犹

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