��穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。

嗤！

一声极轻的灼响。

光，咬住了。

“聚焦成功！”

“主焦点锁定成功！”

会场里先是一静。

紧接着。

轰！

整个主控区像炸了一样。

“成了！”

“真的聚住了！”

“曝光！快上曝光程序！”

程美丽一掌拍下执行键。

啪！

晶圆工件台开始高速平移。

涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。

那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。

全场没人再说话。

只剩设备运转的低沉轰鸣。

还有众人压得发疼的呼吸。

三分钟后。

滴！

曝光结束。

晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。

化学显影液如细雨般淋下。

冲洗。

定型。

白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。

“出来了。”

程美丽开口。

机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。

李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。

一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。

程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。

咔。

目镜锁定。

她低头看了一眼。

没说话。

直接抬手把显微镜画面投上了主屏。

嗡！

巨幕亮起。

一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。

晶格。

线路。

一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。

每一条边缘都锋利。

每一个拐角都干净。

没有塌陷。

没有毛刺。

没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。

主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。

0.5微米。

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